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2011年08月25日紙版発行

   

A5判/304ページ

定価2838円(本体+税10%)

 

ISBN: 9784774147499

 

この本の概要

工業調査会の書籍。プロセスを基本要素に分けた基本プロセスと、それらの組合せで構成されるプロセスモジュールを中心に半導体プロセスについてわかりやすく解説します。[著者プロフィ半導体ール]1935年東京生れ。1959年横浜国立大学化学工業科卒。1959年~78年富士通株式会社勤務。1977年東京大学より工学博士号授与。1978~82年パイオニア株式会社勤務。1979年米国半導体装置材料協会よりSEMMY賞授与。1982~88年アプライドマテリアルズジャパン株式会社勤務。1988年株式会社半導体プロセス研究所設立、現在に至る。