マイクロセンサ工学

センサ技術は実践的なテーマであるため、入門程度の知識だけでは現場では足りません。また、センサと一口に言っても、光から磁気、機械量から、さらには熱センサから音センサと多岐にわたり、それぞれが深く学ばないと習得できないテクノロジです。本書は、現在センサが最も活用されているLSIテクノロジ応用をメインに、光・電磁波センサ、機械量センサ、磁気センサと、現場で求められているテーマに絞り、技術者の参考書となるようなレベルの解説書です。