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2020年10月24日発売
野尻一男 著
A5判／200ページ
定価2,728円（本体2,480円＋税10%）
ISBN 978-4-297-11599-9
【この本の概要】
「はじめての半導体ドライエッチング技術」 が出版 されてから 8年以上経過しましたが，半導体 の微細化・高集積化の進展は留まるところを知らず，次々新しい技術が出現しています。本書は，アトミックレイヤーエッチング（ALE）など新しい技術の解説や，ドライエッチング技術の今後の課題・展望についてなど，旧版に大幅に加筆訂正を行いました。
【こんな方におすすめ】
- 電子電気系のエンジニア全般，半導体関連の技術者，半導体関連の業界を目指す学生