改訂版 はじめての半導体ドライエッチング技術

改訂版 はじめての半導体ドライエッチング技術

2,728(税込)

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A5判/200ページ

販売価格2,728円(本体2,480円+税)

ISBN 978-4-297-11599-9

 

【この本の概要】

「はじめての半導体ドライエッチング技術」 が出版 されてから 8年以上経過しましたが,半導体 の微細化・高集積化の進展は留まるところを知らず,次々新しい技術が出現しています。本書は,アトミックレイヤーエッチング(ALE)など新しい技術の解説や,ドライエッチング技術の今後の課題・展望についてなど,旧版に大幅に加筆訂正を行いました。

 

【こんな方におすすめ】

  • 電子電気系のエンジニア全般,半導体関連の技術者,半導体関連の業界を目指す学生